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Micro-Hybrid 四通道多氣熱電堆探測(cè)器基于MEMS技術(shù)的高靈敏度熱電堆四極桿探測(cè)器，帶有可單獨(dú)組合的濾光片，用于氣體分析。

Micro-Hybrid 黑色硅紅外輻射源TO39帶蓋 通過(guò)在MEMS加熱板發(fā)射器芯片上實(shí)現(xiàn)高度發(fā)展的微納米結(jié)構(gòu)的硅金屬發(fā)射層，Micro-Hybrid可提供具有真實(shí)黑體輻射特性的紅外源。強(qiáng)大的紅外發(fā)射器MEMS芯片由高達(dá)850°C的加熱板溫度與近1倍的光譜寬帶發(fā)射系數(shù)共同定義。這樣可以在很寬的紅外波長(zhǎng)范圍內(nèi)實(shí)現(xiàn)較高的輻射強(qiáng)度。除了高紅外輸出強(qiáng)度外，我們成功開(kāi)發(fā)的重點(diǎn)還在于長(zhǎng)期穩(wěn)定性。

Micro-Hybrid C_MOSI®紅外輻射源TO46帶蓋 用于NDIR氣體分析和其他紅外測(cè)量應(yīng)用的IR輻射源。MEMS紅外發(fā)射器的膜基于C-MOSI®技術(shù)，膜溫度高達(dá)800°C。它可以長(zhǎng)期穩(wěn)定地輸出輻射。發(fā)射器所需的低輸入功率還支持獨(dú)立和手持式應(yīng)用。我們的紅外發(fā)射器中使用的MEMS芯片由多層加熱板膜組成，該膜包含高溫穩(wěn)定的金屬CMOSI層。

Micro-Hybrid 紅外輻射源帶蓋濾光片A1 用于NDIR氣體分析和其他紅外測(cè)量應(yīng)用的紅外輻射源。 MEMS紅外發(fā)射器的高性能薄膜由納米非晶碳組成，其薄膜溫度高達(dá)850°C。它可以實(shí)現(xiàn)長(zhǎng)期穩(wěn)定的高輻射輸出。填充氣體和濾光片的組合可優(yōu)化從UV到5.5 µm波長(zhǎng)范圍內(nèi)的發(fā)射。帶蓋的包裝形式適用于測(cè)量Max.2 cm的截面。

Micro-Hybrid 紅外輻射源TO39SiARC濾光片 用于NDIR氣體分析和其他紅外測(cè)量應(yīng)用的紅外輻射源。 MEMS紅外發(fā)射器的高性能膜由納米非晶碳組成，其膜溫度高達(dá)850°C。它可以實(shí)現(xiàn)長(zhǎng)期穩(wěn)定的高輻射輸出。填充氣體和濾光片的組合可優(yōu)化從UV到12 µm波長(zhǎng)范圍內(nèi)的發(fā)射。 包裝形式的反射器適用于測(cè)量2 cm以上的截面。

Micro-Hybrid 紅外輻射源TO39濾光片A1 用于NDIR氣體分析和其他紅外測(cè)量應(yīng)用的紅外輻射源。 MEMS紅外發(fā)射器的高性能薄膜由納米非晶碳組成，其薄膜溫度高達(dá)850°C。它可以實(shí)現(xiàn)長(zhǎng)期穩(wěn)定的高輻射輸出。 填充氣體和濾光片的組合可優(yōu)化從UV到5.5 µm波長(zhǎng)范圍內(nèi)的發(fā)射。反射器包裝形式適用于測(cè)量2 cm以上的截面。

Micro-Hybrid 紅外輻射源TO39反射SiARC窗口 用于NDIR氣體分析和其他紅外測(cè)量應(yīng)用的紅外輻射源。 MEMS紅外發(fā)射器的高性能膜由納米非晶碳組成，其膜溫度高達(dá)850°C。它可以實(shí)現(xiàn)長(zhǎng)期穩(wěn)定的高輻射輸出。填充氣體和濾光片的組合優(yōu)化了2.5至5.5 µm波長(zhǎng)范圍內(nèi)的發(fā)射。包裝形式的反射器適用于測(cè)量2 cm以上的截面。

Micro-Hybrid 紅外光源TO46反射鏡濾光片A1 用于NDIR氣體分析和其他紅外測(cè)量應(yīng)用的紅外輻射源。MEMS紅外發(fā)射器的高性能薄膜由納米非晶碳制成，可達(dá)到高達(dá)850°C的薄膜溫度。它具有長(zhǎng)期穩(wěn)定的輻射性能。填充氣體和濾光片的組合可優(yōu)化從UV到5.5 µm波長(zhǎng)范圍內(nèi)的發(fā)射。發(fā)射器的低輸入功率要求也允許其獨(dú)立和手持式應(yīng)用。